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東信高科真空等離子清洗機系統(tǒng)維護及保養(yǎng)
東信高科等離子清洗機系統(tǒng)維護及保養(yǎng)手冊
9.3.1檢查真空系統(tǒng)油泵和鼓風機
許多與真空系統(tǒng)相關的問題都出自真空泵油。為了確認它在一個適當的水平和是否無污染，定期檢查石油水平是非常有必要的。臟和石油不足都會導致較差的真空泵性能。污油也會性能降低。
一些等離子體的處理可能會造成更大程度的泵油污染，因此額外的個人防護設備是有必要的。
泵油應該被更換至少一年一次，如果機器得到大量使用，這將造成大量的污油，因此泵油盡可能的每兩個月更換一次，并且泵油要每個月至少檢查一次。
檢查泵油,執(zhí)行下面的步驟:
1.關掉裝置
2.打開前門
3.定位泵油位窺鏡,并確保石油水平在最大值和最小值之間。
注意：泵油是一種對皮膚和眼睛的刺激物，在更換泵油的時候要注意個人防護措施。
更換泵油,執(zhí)行下面的步驟:
1.等待15分鐘是泵油稍微冷卻然后操作，泵油不可過冷，不然會不好移除。
2.排泄石油壓強，使之達到標準大氣壓強
3.斷開泵油系統(tǒng)，用干氮清除泵內殘留有毒或含腐蝕性氣體。
4.向泵油塞方向傾斜
5.旋松排油管,瀉油。
6.安好泵塞運行泵大約10秒鐘，打開進氣口這會使泵油從泵中移除。
7.再次通過移除塞瀉油。
8.換好新的泵油然后上好泵塞。
注意：換油時一定要關閉等離子體系統(tǒng)電源。
9.3.2 檢測真空泄漏
真空泄漏常常可以發(fā)現通過使用異丙醇。通過擦洗揮發(fā)性液體檢查可疑部件，真空泄露會吸入蒸汽從而導致顯示面板上壓力增大，增加5毫托或更多的，表示存在一個錯誤的真空組件或連接。檢測小泄漏保持流動的異丙醇的組件或連接約10是有必要的。小泄漏將不會顯示快速變濕，流動的異丙醇應該覆蓋在整個相關組件上，當使用異丙醇是應避免接觸任何有標簽的部位，因為可能會導致刻字消失
9.3.3清洗反應室
使用者應該每天檢查任何污垢和外來物質。
當清洗機室時使用手套和保護眼睛
警告:清洗機室后,總是產生純氬或氧等離子體應該在高功率下消除至少15分鐘確保清潔室無視覺跡象
1.泵室減少到最低可以達到的壓力并且記錄數據。
2.在4000瓦和300毫托條件下生成氧等離子體15分鐘
3.在4000瓦和250毫托條件下生成氧等離子體15分鐘
4.泵室第二次減少到最低可以達到的壓力并且記錄數據，比較這個值和第一個值，一個顯著減少在兩比較之間則暗示清潔室發(fā)生了故障在等離子機運行工作時。
5.重復這個過程,直到沒有明顯區(qū)別是指出最低基地壓力從一個測試值到下一個。
注意：使用CF4或類似的氣體會引起涂料的反應室和它的組件與這些氣體的副產品，當使用這些類型的氣體處理等離子機時，清洗方案必須經常重復直至刪除副產品，因為他們將很容易再沉積到干凈的表面。
9.3.4 檢查真空裝置的完整性
有必要定期檢查真空系統(tǒng)的完整性，這種檢查應該在徹底的清洗反應室之后，以避免污染物或者真空脫氣泄露。
手動檢查步驟：
1.在主菜單中,按手動模式按鈕來選擇手動模式
2.在手動模式屏幕,按下真空開/關按鈕打開真空閥室
3.觀察基礎氣壓，讀取列表在屏幕右邊，在5分鐘內它應該低于100毫托。
4.等20分鐘,使任何殘留的水分退出系統(tǒng)。
5.記錄最終的壓力。
6.按下真空開/關按鈕來關閉真空閥到室。
7.觀察基礎壓力。
如果系統(tǒng)沒有真空密閉的，壓力值會慢慢上升，根據泄露比例系統(tǒng)壓力上升不會超過30豪托每分鐘。
為了確保最佳性能和系統(tǒng)的優(yōu)良性能，應該成功的運行真空系統(tǒng)進行檢測，如果任何不符合點被檢查出，應該及時檢查室墊圈（在塑料門附近）。有時灰塵和污染物覆蓋在墊片上，也要檢查連接在里面的電子內閣是否有明顯的損壞或泄露。
9.3.5 檢查輸氣管道完整性
確定氣線的完整性，只需打開氣瓶的閥，并很快再次關閉它。如果壓力讀數在一分鐘內調節(jié)值，有大量泄漏，可能是危險的。
9.3.6 檢查電源連接
所有的等離子體系統(tǒng)的運作，利用雙浮動功率輸出每個輸出總線電極的母線連接電極是由一個不銹鋼夾和一個M –4螺釘，螺釘應定期檢查密封性保證電極的母線連接的安全性
9.3.7清洗風機過濾器
風扇和過濾器，位于系統(tǒng)的頂部和底部，保護系統(tǒng)，需要定期清洗去除灰塵和皮棉。堵塞的過濾器，會導致熱量積聚。
清潔過濾器執(zhí)行以下步驟：
1.通過拆除四個螺絲分離過濾器的風扇。
2.用壓縮空氣吹洗過濾器，如果過濾器非常臟，需要用肥皂水清洗然后用壓縮空氣吹洗。
3.更換墊片和過濾器，確保螺絲孔窩，突出的屏幕的一側是朝外。（過濾器應被檢查清洗每月一次，這個任務可能在大約二十分鐘。技術援助或更換零件，請聯系等離子體系統(tǒng)的客戶服務部）。
9.3.8檢查室門墊圈
保持性能良好的真空反應室，室門墊圈是必不可少的
警告:潛在的燃燒危險!
警告:反應室墊圈會導致系統(tǒng)真空泄漏。當檢查有任何裂紋或碎片在密封表面和外部密封焊道里面。請及時更換。這個墊圈的平均壽命是8到12個月。
檢查室墊片,執(zhí)行下面的步驟:
1 從反應室小心的把墊片移除下來。
2 拉開雙方檢查裂縫內密封表面。如果有裂縫,無論多么小,都要更換密封墊。
3 檢查在外面密封焊道上是否有裂縫。如果有發(fā)現,更換密封墊。
4 檢查墊圈外是否有破碎小顆粒。如果有必須清洗墊圈。墊圈可以用溫肥皂水清洗后，再使用酒精進行一個徹底的清洗。
5 檢查墊圈是否有惡化癥狀。這是一種粉狀物質,通常在表面的墊片。重度惡化會使墊圈會變得脆弱。這些表明,硅橡膠被破壞了。墊圈可以清洗(第4步中所述) 只要不存在裂縫可以一直使用。
9.3.9 觀察窗口/ 機器維護
觀察窗口由玻璃制成(12.7毫米厚)。如它需要更換時請聯系東信高科工程技術人員。
9.3.10 射頻發(fā)生器維護
定期檢查后面的裝置是否有灰塵或被腐蝕。
每六(6)個月檢查一次是否有松散的電氣連接。
9.3.11 電極維護
1 電極是一個有磨損項目。適當的維護，可以使電極的壽命擴展到最大的預期使用。
2 當漿水用于處理烴類原料，薄涂層殘留往往停留在電極一段時間。在早期階段，這種涂層不影響運行的設備和最后的產品。但在在連續(xù)操作下，微妙但重大的變化可以被檢測到
3 確保正確操作設備，我們建議電極每6月或1000小時操作就進行一次污染處理。使用以下過程，消除污染不影響電極的性能。
材料要求
氫氧化鈉
硫酸
蒸餾水
注意：這些材料腐蝕性，有毒和危險。
只有經過適當的安全預防措施的有相應的訓練的人員才能進行處理。不要使用任何機械清潔電極，如鋼絲刷，砂紙，或研磨拋丸這將導致泄漏和/或縮短他們的生命。
清潔電極:
1、確定每個電極下負極，使它們可以被安裝在正確的位置
2、取出電極，輕輕擦試污染物，使其完全干燥。
3、正確組裝電極。
