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等離子清洗機(jī)
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等離子清洗機(jī)TS-SY05

產(chǎn)品型號:TS-SY05

產(chǎn)品簡介: 石英玻璃材質(zhì),用于小規(guī)模生產(chǎn)、科研實(shí)驗,用于材料表面活化蝕刻,提升材料表面的親水性

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產(chǎn)品參數(shù):

型號 TS-SY05
控制系統(tǒng)
PLC+觸摸屏
供電電源
AC220V(±10V)
工作電流
整機(jī)工作電流不大于 1.2A(不含真空泵電流)
等離子源功率
300W(60%-100%連續(xù)可調(diào))
等離子源頻率
13.56MHz
頻率偏移量
小于 0.2KHz
氣體流量計
0-500ml/min(2路氣體可調(diào))
氣體流量控制
精密針閥式浮子流量計(2路)
過程控制
自動與手動方式
清洗時間
1-9999s 可調(diào)
真空度
<80Pa
內(nèi)腔尺寸(圓形)
φ160(直徑)*210(深度)mm
腔體材質(zhì) 石英玻璃

產(chǎn)品特點(diǎn):

清洗時長可在觸摸屏設(shè)置,等離子處理時間精確到秒(s)

內(nèi)置兩路氣路,氣體流量可調(diào),無需再搭配氣體混合儀

專利軟件、觸摸屏控制,操作簡易,智能化設(shè)計,避免誤操作

實(shí)時觀察腔體壓力變化情況, 電流、電壓實(shí)時監(jiān)測,確保儀器穩(wěn)定安全運(yùn)行

石英材質(zhì)真空腔體不與等離子體產(chǎn)生反應(yīng),不會污染樣品

配備的真空泵噪音和油氣污染小,真空度高

全程干燥的處理方式,不消耗水資源、無需添加化學(xué)藥劑、不產(chǎn)生污染

常見應(yīng)用:

石墨烯粉末清洗、改性,去除粉末雜質(zhì)和油質(zhì),增加石墨烯表面親水基團(tuán)(-OH)提高親水性

金屬工件油污等離子清洗,不損傷樣品,去除表面油污

PDMS等離子活化改性,提升親水性和鍵合力

ITO導(dǎo)電玻璃親水性處理并提高其功函數(shù)

硅片親水性處理,改性、活化表面

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